對精密顯微鏡的清潔方法不當有可能會降低器件的性能，更容易破壞器件的表面鍍膜。所以正確取放器件并將器件保存在容器中，將大限度地減少清潔次數(shù)和器件被損壞的可能性。 

 首先應根據(jù)環(huán)境按比例調(diào)配酒精的溶液來進行光學零件表面清潔工作。

 1、用清潔空氣球吹掉表面的灰塵。如果不能吹干凈，可取兩張鏡頭紙裹在棉簽上或?qū)㈢R頭紙折疊使其比需清潔的面積稍大一些。

 2、在擦拭前，操作人員應用洗滌液仔細清洗雙手，并用脫脂過的毛巾擦干。

 3、在擦拭光學零件表面時，應先用石油將毛砂面和框擦干凈。

 4、在擦拭棱鏡時應先將棉球橫放于被擦拭范圍的表面，同時以直線形式進行擦拭。

 5、在擦拭圓形零件時，棉花球應從中心向邊緣作螺旋線移動，且棉花球本身也應轉(zhuǎn)動，并將棉球從鏡片表面移出，切記不要在鏡片邊緣停留，以免留下任何印跡，如果是利用回轉(zhuǎn)器擦拭，在擦拭時，棉球應先由中心向邊緣作直線移動，棉球本身同時也會跟著轉(zhuǎn)動。

 6、在擦拭膠合光學零件時，棉球蘸混合液也不宜過多，以免溶劑浸入膠合層而引起脫膠。

 7、應在相對清潔的空間內(nèi)進行清潔，并用脫脂長絨棉輕輕擦拭，且棉球上所含的清洗液不宜過多，在擦拭時應在分劃板刻線的交叉方向移動擦拭，以更好的避免將刻線內(nèi)的填料層擦掉。

 8、同時鍍鋁加保護膜的反射零件，如果保護膜較牢，建議用蘸少許混合液的棉球或脫脂的砂布進行擦拭。

 9、注意棉球應先卷好，卷棉球的竹棍頭部不要外露，更好的避免劃傷零件。棉球的大小和形狀應隨零件的大小和種類不同而變?yōu)檫m度大小。蘸混合劑的棉球浸入溶劑內(nèi)時，不要超過三分之一的棉球長度。

 10、然后，操作人員應將室內(nèi)的一切用具都擦拭清潔，凡是有關(guān)與光學零件接觸的工具、夾具，都應先進行脫脂。